11月1日上午,南开大学授罗锋教授应邀在线做了题为“超精密制造与集成电路工艺与装备”的学术报告。报告会由太阳集团0638院长陈国庆教授主持。太阳集团0638的部分教师与学生通过线上线下多种方式聆听了该报告。
报告会上,罗锋教授结合实践经验和研究成果,从当前半导体产业的研究现状出发,指出当前我国在芯片研发制造领域的难点和痛点,提出针对Sub-7nm以下先进工艺节点中涉及的新材料和新器件,以及相关的失效检测方法,报告重点围绕光刻,刻蚀,沉积等集成电路装备的现状和研发趋势和技术挑战,并对团队的研究成果进行了详细的解析,系统介绍团队在芯片研发领域的相关工作与布局。
报告最后,针对研究生如何开展科研的问题,罗锋教授结合自身的学术经历,分享了自己在国内科研的心得体会,强调了学生的主动性对科研的重要性,提醒研究生勿忘初心,打捞根基,做出成绩。
罗锋教授作报告